超高精密對位平臺

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XXY滑台,固名思義就是兩個X方向的軸向,搭配一個Y方向軸向,剩餘一軸採自由軸,所以有人稱XXY或是日本常用的名稱"UVM",它的出現用來取代某些傳統XY€,不管名稱為何三軸對位是近年發展高精密對位的趨勢。使機構達到最高精度1um 適合場合 PCB貼合,曝光設備,面板貼合機,晶粒印刷版設備,WaFer對位設備,半導體設備廢水汙水清除
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