製程耐溫密封卡匣

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產品內容

200mm(8吋) 13 Slot Special Wafer Cassette (PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

 
8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣
產品規格
產品名稱:8" 13 Slot Special Wafer Cassette / 製程耐溫密封卡匣
產品編碼:PE-C200
產品尺寸:292.2(L) x 220.53(W) x 325.88(H)mm
重  量:2130g
容  量:13 PCS
適用晶圓:8 inch (Ø200mm) 
組成材質:PEI
槽  距:18.5mm
 
產品說明

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣,承載薄化晶圓用於一般製程,可耐溫120度,附蓋設計,加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。Cassette 設計有機械夾板,支援自動化傳輸,並有RunCard設計。

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣 8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

產品特點
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,可焊接。 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 120℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
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公司資訊

  1. 統一編號22907106
  2. 聯絡人沈小姐
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