鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot

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產品內容

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot

 
鐵氟龍晶圓盒
產品規格
產品名稱:12" Teflon Cassette / PFA Cassette
產品編碼:PF-C300-T
產品尺寸:355(L) x 180(W) x 325(H)mm
重  量:3600g
容  量:13 PCS
適用晶圓:12 inch (Ø300mm) 晶圓
組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
槽  距:12.7mm
 
產品說明
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計,可應用於薄化晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用。
鐵氟龍晶圓盒晶舟提把 / 晶舟手把 / 晶圓提把 / 晶圓手把 / 晶舟夾 / PFA Handle / Teflon Handle(M Type)
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 6"、8"、12" 12/13 slot

nPF氮化奈米氟

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別 備註 產品編碼 尺寸 裝箱數
2" 無豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS
2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS
2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A
3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS
4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
4" 鏤空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS
6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS
8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 鏤空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS
12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A

 

產品特點
Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶圓盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
 
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
 
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕
寵物粉末裝填代工
免費註冊

公司資訊

  1. 統一編號22907106
  2. 聯絡人沈小姐
  3. 更多中勤實業股份有限公司資訊
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