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鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot
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鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot
更新時間:
Mon Oct 21 01:00:10 CST 2024
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鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣
300mm(12吋) 13 Slot
產品名稱:12" Teflon Cassette / PFA Cassette
產品編碼:PF-C300-T
產品尺寸:355(L) x 180(W) x 325(H)mm
重 量:3600g
容 量:13 PCS
適用晶圓:12 inch (Ø300mm) 晶圓
組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
槽 距:12.7mm
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計,可應用於薄化晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持,可搭配
鐵氟龍手把
使用。
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 6"、8"、12" 12/13 slot
Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別
備註
產品編碼
尺寸
裝箱數
2"
無豆
PF-C050-B
142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm
10 PCS
2"
有豆
PF-C050
142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm
10 PCS
2.5"
PF-C060
142(L) x 79(W) x 73(H)mm
N/A
3"
PF-C075
142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm
1 PCS
4"
PF-C100
142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm
16 PCS
4"
鏤空
PF-C100-H
142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm
16 PCS
5"
PF-C125
152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm
6 PCS
6"
PF-C150
143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm
12 PCS
6"
黑色
PF-C150-B
143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm
12 PCS
6"
12 Slot
PF-C150-T
177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm
12 PCS
6"
Low Profile
PF-C150-L
143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm
12 PCS
8"
PF-C200
203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm
2PCS
8"
鏤空
PF-C200-H
203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm
2PCS
8"
13 Slot
PF-C200-T
203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm
2PCS
8"
Low Profile
PF-C200-L
220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm
1 PCS
12"
13 Slot
PF-C300-T
350(L) x 180(W) x 320(H)mm
N/A
Cassette依材質特性的選擇參考:
材質
耐溫度
特性
Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶圓盒
200~220℃
耐 強酸 強氟酸 強鹼
酸鹼製程中使用
PP Cassette
40~60℃
重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette
150~180℃
硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette
100~120℃
抗燃、耐油性佳
PEI Cassette
130~150℃
耐磨、抗靜電性。
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID
鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕
寵物粉末裝填代工
公司資訊
統一編號
22907106
聯絡人
沈小姐
更多中勤實業股份有限公司資訊
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https://www.seoweb66.com/web/QA?postID=1174594
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