陶瓷氣浮導軌

氣浮式線性馬達運動平台
簡介:

具有XY之定位運動，其架構為H型型式，XY移動於同一平面上，可降低平台高度減少阿貝誤差，

導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌，其氣浮穩定性較佳，驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺，

此平台運動結構摩擦力小，具有快速移動，精度高，整定時間快等優勢。
 

應用:曝光機載台，影像量測載台