陶瓷氣浮導軌

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產品內容

氣浮式線性馬達運動平台
簡介:

具有XY之定位運動,其架構為H型型式,XY移動於同一平面上,可降低平台高度減少阿貝誤差,

導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌,其氣浮穩定性較佳,驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺,

此平台運動結構摩擦力小,具有快速移動,精度高,整定時間快等優勢。
 

應用:曝光機載台,影像量測載台

水平尺工具
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公司資訊

  1. 統一編號54786301
  2. 聯絡人黃永易
  3. 更多AOI,半導體設備,wafer,鍍鋁片,氧化膜片,氣浮導軌,花崗石構件資訊
網頁更新日:
https://www.seoweb66.com/web/QA?postID=196416化學化工製程定量加藥設備

化學化工制程定量加藥設備産品規格︰1.0.2-240GPH.2.1-210Kg/Cm2.3.液壓膜片

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