氣體質量流量控制器 M3500V-A

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產品內容

 韩国原装进口大流量、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。

应用:

l 所有工业

l 气体混合及分析

l 注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等)

l 半导体工业

l 部件泄露检测

l 产品研究和开发

l 高压行业

l 光纤

l 燃料电池

l 反应器系统

l 气体的混合系统

优势:

l 测量质量流量

l 不需要温度、压力补偿

l 紧凑的流量控制系统

l 高精度(±1%F.S)

l 耐高压(95公斤)

l 快速响应时间(<1秒)

l 高重复性(±0.25%F.S)

 

规格:

型号 M3500V/A
流量范围(N2) 300~1000 slpm
响应时间 <2秒
精确度 ±1%
重复精度 ±0.25%
输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA 
供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力 60~240 psia
最大工作温度 0~50℃
漏率 1×10-9atm.cc/sec
控制范围 2~100%
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公司資訊

  1. 統一編號310118002560791
  2. 聯絡人李冬静
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