真空蝶閥

產品功能

真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源，節省系統與蝶閥間複雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外，更首創加入流量控制器的操作來調節壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩定系統壓力

 

產品特色

ISO63~ ISO160管徑

具備壓力與角度控制模式

具備蝶閥本體與控制器

內部提供壓力計電源

可操作流量控制器調節壓力

具備壓力異常警告

 

應用產業

鍍膜產業

光電半導體產業

相關真空製程領域

政府補助案