直流電漿電源系統

產品功能

符合電漿特性的電氣規格

具備定功率，定電壓，定電流

內建電弧保護功能

內建過電壓，過電流，過熱，超載等保護功能

可用于單雙火線的電漿系統

PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)

 

產品特色

數位控制系統

設定範圍廣

高電漿密度

可客制化洽詢

 

應用產業

真空鍍膜製程之清洗處理

電漿輔助化學沉積製程

電漿輔助濺鍍製程

C軸旋轉放電