日本製離子源之鉬電極板

本公司代理日本製造的離子源 （ Ion source ）
柵極組件，為三片一套的鉬電極板(Mo Grid)，
依序分別為遮蔽電極、加速電極及減速電極，
並經過專業特殊之表面曲率成型加工及精密
鑽孔加工。
離子源之鉬電極板(Mo Grid)特別使用於高階
的光學鍍膜製程中，例如採用的離子輔助蒸
鍍 (Ion-beam Assisted Deposition ) 等相關離子
源設備。