光罩傳送盒

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光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST ASML Pod

 
光罩傳輸盒
產品規格
產品名稱:
ASYST ASML Pod 光罩自動化傳輸盒
產品編碼:RSP-A-A
產品尺寸:230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm
重  量:1298.5g
容  量:1 PCS
適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
組成材質:ABS / PC
 
產品說明

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。

吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
專利字號:台灣專利字號第M409239號
客製化項目
光罩傳輸盒RFID安裝   光罩傳輸盒條碼貼紙   光罩傳輸盒Run Cad 安裝
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  1. 統一編號22907106
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網頁更新日:
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