SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒

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產品內容

晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)

 
晶舟自動化傳送盒
產品規格
產品名稱:SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒
產品編碼:WSP200
產品尺寸:
  292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm
重  量:2600g
容  量:1 Set 8”Wafer Cassette
適用晶圓:200mm(8吋)晶圓
組成材質:PC/PC ESD
 
產品說明

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒,自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette),可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

高潔淨度承載,選配充氣功能,耐高溫耐磨耗材質
CHD三點定位接觸設計,減少印痕 

晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒
8" 晶舟自動化傳送盒 8" 晶舟自動化傳送盒 底盤無螺絲設計版本
產品特點

專利字號:
台灣專利字號第M409526號

可搭配RFID電子貨架使用,可自動讀取RFID,記錄每個格位最近100筆RFID資料,並透過人機介面查詢。

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公司資訊

  1. 統一編號22907106
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(各種工程塑膠絕緣材料板材、棒材、管材、薄板刮刀、螺絲、螺帽、齒輪、華司、墊片、套筒、治具等。

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