碳化矽鍍膜, 碳化硅鍍膜

本公司成立於2014年, 專門從事碳化矽鍍膜開發與製造,  鍍膜之基底材料為陶瓷類耐高溫之材料, 例如:石墨/石英/燒結碳化矽/藍寶石/單晶矽基板/等等耐高溫陶瓷品, 可做平面單面鍍膜或是雙面鍍膜, 管狀之管內或管外單一鍍膜, 或是選擇性區域鍍膜.

 

以專業開發精神與客戶共同開發新產品, 服務各產業客戶.

 

碳化矽鍍膜產品方向以耐化學侵蝕, 耐磨耗, 為目標.

例如:

* 半導體製程中, 化學蝕刻製程之防腐蝕之擋板, 防製程腐蝕之承載盤, 防腐蝕之支撐圓環.

* 低溫壓鑄造形之模具製造, 以石墨加工造型後當基材 , 外表鍍碳化矽膜成為模具.  

* 化工製程中, 燒結碳化矽載具之毛細孔填封以碳化矽鍍膜, 成為無縫隙燒結碳化矽載具.

* 太陽能製程中, 矽晶片類方板之碳化矽鍍膜, 做為濕製程之擋片.

分離機