Option Q7 整合型超純水系統

電阻率: 18.2MΩ.cm, TOC: 1-3ppb, 微生物: <0.1CFU/ml, 內毒素: 0.001EU/ml (Biofilter)

LC140: Pre-treatment Cart.
             純水系統用複合式前處理管匣1組，具高吸附活性碳及微米級過濾能力。
          
LC163: Twin Pack Purification Cart.
             雙柱純化管匣1組，內含電子級混床式陰陽離子交換樹脂。25噸螃蟹吊車