廢氣處理設備

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KT1000FA設備採電熱水洗式設計,比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本,也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較 高,台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA 堅固耐用且安全,第一部售出的機台已逾八年,至今仍未除役,深受 客戶肯定。 適合處理: Deposition gas SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS etc. 適合處理: Cleaning gas: NF3透氣陶瓷抗靜電吸盤
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  1. 統一編號29048242
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