UVW對位平台

平台大小(mm):450 x 450 x 119

最大行程(mm):±10

螺桿導程(mm):2

                      E級 (10μm) 
反覆定位精度:H級 (6μm)
                      P級 (2μm)

動負荷(kg):50

靜負荷(kg):200

極限開關:EX674

步進馬達:42框

伺服馬達:100W

表面處理:黑色陽極

平台重量(kg):33

 

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