Cassette光學自動檢測系統

『光學自動檢測系統』

『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸，避免因為晶圓盒變形產生不必要的損失。

1.中勤獨家軟體影像辨識技術，檢測人工無法量測尺寸

2.搭配高速、高解析度工業相機，使用非接觸式技術，檢查晶圓位置尺寸，並符合半導體規範

3.設計符合2”~12”晶圓盒通用機型