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三次元座標量測儀,又稱三次元量床,在台灣為了區隔二次元影像量測儀號稱的非接觸式三次元(或稱為2.5D ,其號稱的 0.5D 是指Z軸加裝光學尺,可利用鏡頭本身的對焦來達到高度或段差量測),所以又叫做接觸式三次元,故名思義該機器的量測方式是以探測系統直接碰觸工件來進行量測。其量測原理為利用探針(大部份尾端有一顆紅寶石球)去碰撞工件的邊緣,取得該位置的座標值,再減去測頭的半徑即為工件的實際座標值。一般量測儀的三軸都有安裝光學尺,當測頭接觸到工件時,會送出訊號以擷取目前座標值,再經由量測軟體運算處理,便可計算出我們要的座標值或尺寸,所以您只要依照量測位置去取點便能得到量測數據.
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