日本Engis單晶碳化矽基板拋光設備

日本Engis目前提供超精密拋光設備技術以及優異
磨料給日本各大廠商單晶碳化矽(SiC)基板，並且
產總研(註一)也已經採用日本Engis的設備。
雖然單晶碳化矽基板在研磨拋光製程上比藍寶石
基板相對困難，但是在高階藍光LED表現上卻是
比藍寶石基板更勝一籌。
目前在日本之單晶碳化矽基板量產大多是以2吋
為主，而4吋以及6吋之單晶碳化矽基板業已開發
完成並正在量產，現階段共有兩種的單晶碳化矽
基板。因為日本Engis擁有超精密拋光技術設備及
實績所以大多數廠商及政府研究機構是採用日本
Engis公司之拋光設備以及專業技術。

註一  :     日本獨立行政法人產業技術總合研究所 舒壓排毒