日本Engis雷射干涉儀

平面量測雷射干涉儀是採用Fizeau干涉方式，
一般使用在研磨拋光加工後工件平面度檢驗，
因雷射光經由光學標準平鏡形成相位差之干涉
條紋，電腦會依此參數自動運算出被測試工件
之 表面精度，而在顯示器上可觀察被測試工件
之 干涉條紋及立體圖像及量測數值，實為最佳
平面 量測干涉儀器。

雷射干涉儀規格:
光源 : 半導體雷射
波長 : 0.343um
量測面積 : 直徑60mm or 150mm
Features Facilitates
High Precision Measurement.
A fringe spectrum image of a sample
surface canbe easily displayed on monitor.
All you have to do is place a sample on the
sample table and adjustthe angle of the
reference plate by the two leveling screws
on its side. No contact measurement-prevents
damage tocomponents and also prevents
damage to Optical flat.西工