日本Engis平面度量測儀

日本Engis平面度量測儀針對拋光定盤之平面
量測，能確認拋光定盤之變形量，而量測所
得數值為修整拋光定盤依據，用以調整超精
密拋光定盤修整器或鑽石電鍍修正環修整之
移除量，並且可判斷拋光定盤之變形狀態，
做為拋光製程之改善參考。
平面度量測儀並附帶大理石校正定盤， 平面
度量測前可以自行校正。

Engis Lapping Gauge Unit
Use for checking flatness of lapping
plate against a granite master block電子秤