5400質量流量計

商品介紹：品牌 KOFLOC 型號 5400 類型 質量流量計 測量範圍 0.0006-1.2（m3/h） 精度等級 ±1.0%F.S. 以內 發貨期限 10天內發貨 適用介質 氣體 工作壓力 0.98（MPa） 工作溫度 0～50（℃） 產品說明 F.S.流量 N2換算 10SCCM-20SLM 閥執行機構 電磁常閉 控制範圍 2%-100%F.S 應 答 性 應答速度≤1秒 精 度 ±1.0%F.S.以內 線 性 ±0.5%F.S.以內 再 現 性 ±0.2%F.S.以內 動作差壓 49KPa-294KPa(F.S.≤5SLM) 98KPa-294KPa(5SLM 耐 壓 0.98MPa 泄 露 率 1 × 10–11 Pa m3/second或更小 操作溫度 0～50°C 接觸介質的材質 SUS316L，Au,PTFE 連 接 1/4VCR 電氣連接 9針插座 控制信號 0-5VDC 輸出信號 0-5VDC 電 源 5400：+15 VDC (±5%) 100 mA，–15 VDC (±5%) 200 mA 5410：+15 VDC (±5%) 100 mA，–15 VDC (±5%) 100 mA 安裝方向 任何方位 日本Kofloc公司是一家專業製造質量流量計/質量流量控制器的廠家,在全球有廣泛的銷售和應用.該公 司產品廣泛應用於半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合水準泡