中空型精密XY運動定位平台

中空型精密XY運動定位平台

    簡介:
    1.線性馬達驅動   

    2.光學尺回授
    3.精度: ±3μm    

    4.直線度: ±2μm
    5.中空型工作台適用於AOI量測。
    6.使用雷射干涉儀校正及進行精度補正。
    應用: 檢測平台、機械手臂校正、AOI量測應用