電漿清洗機系統

Specifications：
 
  Vacuum Chamber Size：350mm(D) X 250mm(L)
  Sample Size：150mm(L) X 150mm(W)
  LED Display Controller
  LED Display of D.C Bias Voltage
  D.C Voltage Power：800W
  D.C Bias Voltage Range：0 ~ 1000VDC
  Vacuum Chamber Pressure：20 – 1000m torr
  Vacuum Pressure Meter：0 – 760mmHg
  Gas Rotameter
  Vacuum Pump