200mm 立式爐管

本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣，
以台灣自製的設備來提供服務，本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成，8"立式爐管由Robot 傳送，取代人工傳送
晶圓，減少外在的污染。
製程範圍:APCVD Oxide, Anneal
         LPCVD POLY(620~655度)
由台灣自製，提供較佳的成本選擇，外製設備價格高，全新設備
價格高，中古設備風險高。
本設備使用PLC為控制單元，穩定度高，不會因為版本更新而造成
零件短缺，維修容易(目前皆為模組化)。
製程溫區3~5段P.I.D控制(自由選擇)。
氣體控制為MFC控制。泰山冷氣安裝