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產品內容
韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
l 所有工业
l 气体混合及分析
l 注气、表面加工行业
（PVC,CVD,反应器等）
l 半导体工业
l 部件泄露检测
l 产品研究和开发
l 高压行业
l 光纤
l 燃料电池
l 反应器系统
l 气体的混合系统
优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（95公斤）
l 快速响应时间（＜1秒）
l 高重复性（±0.25%F.S)
规格：
| 型 号 | M3030V/A |
| 流量范围（N2) | 0.01~30 slpm |
| 响应时间 | ＜2秒 |
| 精确度 | ±1% |
| 重复精度 | ±0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 最大工作压力 | 5~1300 psia |
| 最大工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
公司資訊
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